西安电子真空泵报价

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。合格的真空泵需要注意铸件质量。西安电子真空泵报价

真空泵的使用是需要注意的，磨损是真空泵配件常见的一种失效模式，一种是在有润滑条件下，零部件之间接触表面的摩擦磨损，常发生在齿轮、缸体、叶片、转子滑动轴承、滚动轴承中。这类磨损速度缓慢，磨损失效主要与润滑、密封条件有关。另一种是在无润滑条件下，零件相互摩擦或物料对零件表面摩擦所造成的磨损，这在真空泵中尤其突出。如联轴器、2X泵的皮带轮、螺杆真空泵的双螺杆等等。这类磨损速度比前者快得多，主要与金属材料性能与物料性质有关。对于油式真空泵来讲，润滑中的磨损尤为突出，大多由于真空泵油变质，以及外来杂质导致润滑不畅导致。汕尾滑阀真空泵真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。

在复合分子泵的设计中，必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵：分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。水喷射泵是用水作为工作介质，通过高速射流来引射被抽气体，使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的极限压强为3.3kPa，两级串联可获得好一些的真空度，主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用，也可作为其他真空泵的前级。

在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按顺时针旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。真空泵要经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。

真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的极高真空范围。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。动量传输泵（分子真空泵）依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。变容真空泵又分为：往复式，旋转式（旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式），其它型式。真空泵的转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。水真空泵哪里有

干式螺杆真空泵由于其优越的性能，已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业选择真空获得设备。西安电子真空泵报价

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